芯片工艺制程怎么看_六大芯片制造厂的制程工艺演进之路

目前,半导体制造业发展如火如荼,尤其是以TSMC为代表的晶圆代工产业,在不断追求更先进制造工艺的同时,也吸引了产业链中相关企业的关注,带动了产业投资。10nm、7nm、7nm+和5nm,将于明年投入试生产等。,先进的制造工艺已达到现阶段,并已进入一个缓慢的发展时期。与28纳米相比,28纳米被认为是最经济的和先进制造工艺的切入点,这些工艺拥有更少的玩家和更多的访客。因此,它们的演变值得深思。从流程节点演化来看,相对成熟的28纳米及以上流程仍然具有较大的市场规模和较高的性价比,库存基本保持不变或略有下降。然而,由于28纳米市场规模的逐渐扩大和更先进的工艺,成熟工艺的市场份额将继续下降。总的来说,铸造市场仍然由成熟的制造工艺主导,先进制造工艺的比例不断增加。2018年,28纳米及更先进制造工艺的市场份额约占45%,预计到2021年将达到56%从芯片制造商的角度来看,目前只有6家公司拥有28纳米及更先进的制造工艺,即TSMC、网格、UMC和SMIC,以及IDM的三星和英特尔

芯片工艺制程怎么看

接下来,我们将梳理这六家大型芯片制造厂的流程演变。

TSMC是晶圆代工领域的行业领导者,在工艺技术覆盖范围、先进工艺领先地位和收入水平方面都处于领先地位。该公司一直位居行业第一,市场份额接近60%2017年,TSMC用258种加工技术为465个客户生产了9920种芯片。就工厂而言,该公司有三个12英寸的超大型晶圆厂,即fab 12、fab 14和fab 15。此外,该公司还在中国大陆和台湾新建工厂,以满足客户对更先进制造工艺的需求。
让我们来看看TSMC各种制造流程的演变2003年,公司引进了当时业界领先的0.13μm低介电铜线逻辑工艺技术。也就是说,从那时起,TSMC开始大幅度领先UMC。2004年,TSMC成为第一个通过浸没式光刻生产90纳米芯片的制造商。2005年,TSMC开始了65纳米产品的风险测试生产。2008年,一个40纳米的工艺被用于为许多客户批量生产芯片。2011年,世界上第一个28纳米通用工艺技术问世由于TSMC是业界第一个实现28纳米大规模生产的国家,也是第一个长期占据28纳米市场份额的国家,高通公司的小龙800采用了TSMC的28纳米HPM HKMG标准工艺,而高通公司的MSM8960和联发科技的四核MT6589T芯片则采用了28纳米低压工艺。2014年,TSMC成为世界上第一家使用其最初的双模20纳米技术大规模生产芯片的公司。2015年,16纳米鳍式场效应晶体管将开始大规模生产。2017年,开始大规模装运10纳米鳍片场效应晶体管工艺,并开始7纳米鳍片场效应晶体管工艺的风险试生产,2018年实现批量生产。2019年,大规模生产将从7纳米开始(EUV版为7纳米)2020年5纳米工艺的风险试生产此外,该公司已经开始建立一个3nm工艺工厂,预计将在2022年实现大规模生产就过程演化而言,TSMC有一个主要特征,即每一代过程的发射间隔逐渐延长,例如,在45纳米和28纳米之间间隔9个四分之一,在28纳米和16纳米之间间隔11个四分之一,在16纳米和10纳米之间间隔12个四分之一然而,从65纳米后所有新工艺的产能提升来看,大规模生产后新工艺的扩张和替代速度正在迅速加快。例如,将40纳米/45纳米工艺的产能比例从0%提高到20%需要9个季度,28纳米需要7个季度,16纳米工艺需要5个季度,10纳米工艺只需要3个季度通过以上现象,我们可以看到:第一,高端大客户迫切需要性能更高、功耗更低的先进工艺产品;第二,它反映了TSMC的研发能力和生产经验在不断提高,控制新产能的产量和提升产能越来越方便。图2:从2009年到2017年,TSMC先进制造流程的迭代速度逐年提高。TSMC的盈利能力非常强。下面是与SMIC的简单比较,这是人们非常关心的。以TSMC和SMIC 2017年第四季度的收入结构和毛利率为例,TSMC的先进制造工艺收入(28纳米及以下)占总收入的63%,而SMIC的先进制造工艺仅占11%。TSMC当季的毛利率为50.5%,而SMIC的毛利率为19%TSMC 2017年第四季度的收入为94.37亿美元,晶圆出货量为607.28万个8英寸等效晶圆,总单价为每片1,554美元同期,SMIC的收入为7.87亿美元,晶圆出货量为112.4万个8英寸的同等晶圆,合并后的单价为每片700美元这两种产品的平均价格相差一倍多,毛利率相差近2.5倍。先进制造工艺的产品价值和利润率是显而易见的。

三星于2005年成立晶圆代工业务部,并于2017年开始独立运营。独立的主要目的是加强其在全球晶圆代工市场的竞争力,缩小与TSMC的差距。
让我们从先进制造流程的角度来看三星晶圆代工业务的发展2016年初,三星的第二代14nm FinFET开始批量生产。2016年10月,该公司的第一个10纳米FinFETLPE工艺批量生产。2017年4月,第二代10纳米鳍片场效应晶体管技术10LPP通过认证。2017年10月,8纳米鳍式场效应晶体管工艺技术8LPP获得认证。2017年11月,第二代10纳米鳍式场效应管技术批量生产。在2019年,7纳米以上的过程将大量生产。在过去的两年里,三星和TSMC在10纳米过程中竞争激烈。TSMC于2017年在Q2开始为苹果公司批量生产10纳米A11处理器,并于2018年开始批量生产7纳米制程。三星也开始铸造10纳米的芯片,但是用浸没式光刻跳过了7纳米,直接用EUV光刻引入了7纳米总的来说,TSMC在10纳米和7纳米工艺方面处于领先地位就工厂而言,三星从2005年开始进入12英寸晶圆代工领域。目前,三星有四条晶圆代工专用生产线,包括三条12英寸生产线和一条8英寸生产线。12英寸晶圆代工生产线分布在韩国和美国。它主要针对高端工艺,包括65纳米、45纳米、32纳米/28纳米HKMG和14纳米鳍片场效应晶体管工艺。客户包括苹果、高通、AMD、XILINX、英伟达等。8英寸晶圆代工生产线将于2016年投入使用,覆盖180纳米至65纳米的所有加工节点。加工技术包括生产嵌入式闪存、功率器件、CMOS图像传感器和高压加工

全球铸造厂已经制定了两个工艺路线图:对于鳍式场效应管,该公司有14LPP(14纳米鳍式场效应管技术)和12LPP;对于场致发射固体氧化物半导体,栅极核心生产22FDX,当客户需要时,可以生产12FDX芯片。栅芯14LPP主要用于制造低功耗SoC在计算、互联网、移动和服务器市场。28纳米和FDX系列工艺主要用于低端处理器。22FDX-RFA技术主要用于射频领域。180纳米和55纳米等成熟工艺主要应用于模拟芯片、电源管理芯片等领域。

UMC于2003年开始试生产90nm芯片,并于2004年通过验证,实现批量生产。2005年,该公司推出了65纳米芯片。第一个45纳米芯片是在2006年生产的。2008年,业界首款28纳米静态随机存取存储器芯片问世。2009年,生产了40纳米芯片。2011年,28纳米芯片开始试生产,2014年开始批量生产。2017年14纳米芯片的生产
2013年,联电还成功开发了28纳米多晶硅工艺技术,并通过客户产品验证将其逐步引入批量生产2014年,28纳米HKMG工艺技术成功开发,并通过早期客户产品验证逐步引入批量生产。2015年,成功开发了28纳米高性能紧凑型(HPC+)工艺技术,可提供更低的漏电流并降低功耗。

SMIC成立于2000年,于2001年在上海投产了一家8英寸的工厂,并于2005年实现了90纳米的试生产。2009年65纳米批量生产;2011年,55纳米被批量生产,40纳米被成功验证。2012年,40纳米被大量生产。Q2 2015,大规模生产开始于28纳米CIMC在28纳米有三个过程,即聚苯乙烯、HKMG和香港公司的28纳米技术现已成功进入多项目晶圆(MPW)和批量生产阶段,并提出了三个发展阶段的概念:第一阶段的多晶硅工艺已经批量生产,第二阶段的HKMG工艺已于2017年第二季度开始生产,第三阶段是HKC工艺,将于2018年批量生产自28纳米大规模生产以来,SMIC在开发这一工艺节点时遇到了一系列困难。作为回应,该公司首席执行官赵海军曾表示:“我们对在28纳米扩大生产持谨慎态度。”SMIC将于2018年大规模生产的主要新制造工艺是28纳米HKMG (SMIC称之为HKC)的第二阶段然而,28纳米保利和HKMG都是成熟的竞争对手,价格压力基本相同。因此,从盈利能力的角度来看,28纳米HKMG的扩张带来的贡献有限。因此,公司暂时减缓了28纳米的艰难利润,并通过成熟的制造工艺暂时稳定了业绩,为2019年14纳米的大规模生产做了充分准备就成熟工艺而言,55纳米/65纳米和0.15微米/0.18微米两大工艺平台被广泛使用,预计将与公司的两大关键平台NOR和PMIC相对应。此外,SMIC拥有中国大陆最大的8英寸晶圆产能。成熟工艺平台和定制应用的普及使其8英寸生产线的产能利用率保持在较高水平,进一步提升了公司的业绩。目前,14纳米鳍场效应晶体管制造技术在SMIC是最重要的,因为从14纳米节点开始,集成电路中的场效应晶体管结构从2D变成了3D。尽管目前先进制造工艺的划分仍局限于28纳米,但从晶圆代工厂制造商的竞争格局来看,14纳米鳍片场效应晶体管(14nm FinFET)技术是主流大小制造商之间的划分。因此,14纳米鳍片场效应晶体管技术的突破对SMIC具有里程碑意义

从1971年到2019年,英特尔使用10μm工艺生产了世界上第一台微处理器4004,实现了10纳米处理器的批量生产。英特尔在过去50年中的半导体工艺发展是有史以来最多的。众所周知,英特尔对工艺技术的要求非常严格,这也是它在商业工艺方面落后于TSMC和三星的原因。然而,由于英特尔不是一家铸造公司,其在该领域的产能和市场份额相对较低。这家工厂主要用于生产自己的处理器和内存芯片。英特尔有大量的晶圆厂。其70%的处理器和芯片组晶圆是在美国的晶圆厂生产的,包括亚利桑那州、俄勒冈州、新墨西哥州和马萨诸塞州,其中马萨诸塞州是英特尔唯一也是最后一个8英寸晶圆厂。该公司的14纳米工艺主要在亚利桑那州和俄勒冈州的D1X晶圆厂生产美国以外的14纳米晶圆厂主要是爱尔兰的24纳米晶圆厂,目前仍在升级14纳米制程。该公司在中国大连和成都也有两个晶圆厂,但制造过程主要是90纳米和65纳米在发展晶圆代工业务时,英特尔可能会引入战略投资者未来,对7纳米、5纳米、3纳米等技术的投资将越来越大,引入战略投资者将有助于分担风险。

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